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Kleinste Objekte und Strukturen im Mikrometer- und Nanometerbereich werden im Rasterelektronenmikroskop sichtbar (REM). Topografie und Materialunterschiede können dargestellt und untersucht werden. Die chemische Zusammensetzung wird mit der energiedispersiven Röntgenanalyse (EDX) bestimmt. Dies ist besonders dann von Vorteil, wenn Analysen kleinster Fehlstellen notwendig sind, sehr dünne oder schlecht auflösbare Schichten vorliegen, Materialmengen für eine klassisch chemische Analyse nicht ausreichen.

REM mit EDX

  • Darstellung von Oberflächen, Bruch- und Grenzflächen, Beschichtungen, Replicas
  • Vergrößerung 5fach bis 1.000.000fach
  • Untersuchung leitfähiger und nicht leitfähiger Proben im Hochvakuum bzw. im Niedervakuum
  • Bestimmung der chemischen Zusammensetzung (Elemente Bor bis Uran)

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Korrelative Mikroskopie / Untersuchung von Schadensfällen

  • Kombination der Bildinformationen aus Lichtmikroskopie und REM mit verschiedenen Detektoren
  • Aufklärung von Werkstoffversagen durch Bruch, Korrosion und Verschleiß; optischen Mängeln von Oberflächen und anderen Unregelmäßigkeiten
  • Analyse von Rückständen oder Ablagerungen

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Bewertung von Filtern zur Restschmutzanalyse nach VDA BD.19

  • Automatische Bestimmung der Morphologie (Anzahl und Größe) der Partikel
  • Unterscheidung von reflektierenden und nicht reflektierenden Partikeln und Fasern
  • Automatische Bestimmung der chemischen Zusammensetzung der Partikel mit REM / EDX

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